Fabrication, caractérisation et modélisation de micropoutres multimorphes intégrant un film piézoélectrique d'AlN comme actionneurAlexandru Andrei, Katarzyna Krupa, Michal Jozwik, Patrick Delobelle, Laurent Hirsinger, Christophe Gorecki, Lukasz Nieradko and Cathy MeunierMécanique & Industries, 8 3 (2007) 267-278DOI: https://doi.org/10.1051/meca:2007048
